TFT基板喷淋装置及蚀刻系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种TFT基板喷淋装置，所述喷射装置包括喷淋轴筒、及用于对所述基板喷淋的至少两种喷嘴；所述至少两种喷嘴设于所述喷淋轴筒外表面并与所述喷淋轴筒内部贯通，并且至少两种喷嘴位于所述喷淋轴筒外周面的不同侧；所述喷淋轴筒内设有沿着喷淋轴筒内壁轴向延伸并可绕喷淋轴筒轴心转动的遮挡壁，所述遮挡壁与喷淋轴筒内壁接触的面积大于至少两种喷嘴与喷淋轴筒连接处的面积；所述喷淋轴筒旋转使所述遮挡壁在所述喷淋轴筒内封闭所述至少两个种喷嘴中的一种，并使另一种喷嘴进行喷淋。本发明专利技术提供一种TFT基板喷淋系统。

【技术实现步骤摘要】
TFT基板喷淋装置及蚀刻系统
本专利技术涉及一种TFT基板喷淋装置及蚀刻系统。
技术介绍
在液晶显示面板制造行业，湿法刻蚀技术应用十分广泛，随着液晶面板各种制程的不断更新换代，TFT基板金属线种类也更多，从铝制程到铜制程、银制程；不同的金属在制作金属线图案时使用的湿法刻蚀时，通过喷嘴将药液均匀的喷洒在基板表面，最终得到需要的金属图案；但是同一机台在使用不同药液做刻蚀的时候由于药液的粘稠度不同，喷嘴喷出来的水花大小就会不一样，这样就会影响刻蚀均一性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种TFT基板喷淋装置，可保证喷嘴喷出来的水花相同，进而保证刻蚀均一性。本专利技术还提供一种TFT基板蚀刻系统。本专利技术提供一种TFT基板喷淋装置，所述喷射装置包括喷淋轴筒、及用于对所述基板喷淋的至少两种喷嘴；所述至少两种喷嘴设于所述喷淋轴筒外表面并与所述喷淋轴筒内部贯通，并且至少两种喷嘴位于所述喷淋轴筒外周面的不同侧；所述喷淋轴筒内设有沿着喷淋轴筒内壁轴向延伸并可绕喷淋轴筒轴心转动的遮挡壁，所述遮挡壁与喷淋轴筒内壁接触的面积大于至少两种喷嘴与喷淋轴筒连接处的面积；所述喷淋轴筒旋转使所述遮挡壁在所述喷淋轴筒内封闭所述至少两个种喷嘴中的一种，并使另一种喷嘴进行喷淋。其中，所述至少两种喷嘴包括第一喷嘴及第二喷嘴且第一喷嘴及第二喷嘴的数量均为多个，所述多个第一喷嘴及多个第二喷嘴均沿着所述喷淋轴筒的轴向呈直线排列设于所述喷淋轴筒外表面上，并且所述多个第一喷嘴所在直线与多个第二喷嘴所在直线在所述喷淋轴筒外表面不同侧。其中，所述第一喷嘴与所述第二喷嘴分别喷射不同粘稠度的蚀刻药液。其中，所述第一喷嘴的喷口直径与所述第二喷嘴的喷口直径不同。其中，所述遮挡壁为筒状且截面为半圆形。其中，所述第一喷嘴所在位置与第二喷嘴所在位置呈直角。其中，所述数个第一喷嘴所在直线与数个第二喷嘴所在直线以所述喷淋轴筒的轴线为对称线。其中，所述喷淋装置还包括喷淋轴筒连接的控制喷淋装置喷淋的控制件。本专利技术提供一种TFT基板蚀刻系统，其包括固定基板的承载台、控制系统及对所述基板蚀刻的所述的喷淋装置，喷淋轴筒旋转使所述遮挡壁在所述喷淋轴筒内封闭所述至少两个种喷嘴中的一种，并使另一种喷嘴对向所述基板。本专利技术的TFT基板的喷淋装置在喷淋轴筒上设有不同种类的喷嘴，并且喷淋轴筒内设有遮挡壁，对不同粘稠度的药液旋转所述喷淋轴筒针，使用不同的喷嘴进行喷淋，产生水花大小相同，保证了蚀刻的均匀一致性，而且本专利技术的喷淋装置结构简单，易于操作。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例的TFT基板蚀刻系统喷淋装置的示意图。图2是图1所述的TFT基板蚀刻系统喷淋轴筒截面示意图。图3是本专利技术实施例的TFT基板蚀刻系统的示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1与图3，本专利技术佳实施方式提供一种TFT基板喷淋装置及TFT基板蚀刻系统。用于适合不同金属在TFT基板湿法蚀刻时形成金属线图。所述TFT基板蚀刻系统包括TFT基板喷淋装置10、固定基板21的承载台20及控制系统；所述喷淋装置10与所述承载台20相对设置。请一并参阅图2，所述喷射装置10包括喷淋轴筒12、及用于对所述基板喷淋的至少两种喷嘴；所述至少两种喷嘴设于所述喷淋轴筒12外表面并与所述喷淋轴筒12内部贯通，并且至少两种喷嘴位于所述喷淋轴筒12外周面的不同侧。所述喷淋轴筒12内设有沿着喷淋轴筒12内壁轴向延伸并可绕喷淋轴筒12轴心转动的遮挡壁14，所述遮挡壁14与喷淋轴筒12内壁接触的面积大于至少两种喷嘴与喷淋轴筒12连接处的面积；所述喷淋轴筒12旋转使所述遮挡壁14在所述喷淋轴筒12内封闭所述至少两个种喷嘴中的一种，并使另一种喷嘴进行喷淋。进一步的，所述至少两种喷嘴包括第一喷嘴16及第二喷嘴17且第一喷嘴16及第二喷嘴17的数量均为多个。所述多个第一喷嘴16及多个第二喷嘴17均沿着所述喷淋轴筒12的轴向呈直线排列设于所述喷淋轴筒12外表面上，并且所述多个第一喷嘴16所在直线与多个第二喷嘴17所在直线在所述喷淋轴筒12外表面不同侧。本实施例中，所述数个第一喷嘴16所在直线与数个第二喷嘴17所在直线以所述喷淋轴筒12的轴线为对称线。所述喷淋轴筒12旋转180可变换所述第一喷嘴16与第二喷嘴17的位置。在其它实施例中，所述第一喷嘴16所在位置与第二喷嘴17所在位置呈直角，所述喷淋轴筒12旋转90可变换所述第一喷嘴16与第二喷嘴17的位置。进一步的，第一喷嘴16的喷口直径与所述第二喷嘴17的喷口直径不同。所述第一喷嘴16与所述第二喷嘴17分别喷射不同粘稠度的蚀刻药液。本实施例中，所述第一喷嘴16及第二喷嘴17为中空圆锥体，并且第一喷嘴16的喷口直径大于所述第二喷嘴17的喷口直径。所述第一喷嘴16用于喷淋粘稠度高的蚀刻药液，所述第二喷嘴17用于喷淋粘稠度低的蚀刻药液。进一步的，所述遮挡壁14与喷淋轴筒12内壁接触的面积大于所述第一喷嘴16与所述第二喷嘴17与喷淋轴筒12连接处的面积；本实施例中，所述遮挡壁14为筒状且截面为半圆形。在其它实施例中，所述遮挡壁14的截面也可以是小于或大于半圆形。所述遮挡壁14紧贴近所述喷淋轴筒12的内壁设置。所述喷淋轴筒12旋转后使所述遮挡壁14在所述喷淋轴筒12内封闭所述第一喷嘴16或者所述第二喷嘴17，相应的所述第二喷嘴17或者第一喷嘴16对所述基板进行喷淋。进一步的，所述喷淋装置10还包括喷淋轴筒12连接的控制喷淋装置喷淋的控制件(图未示)。本实施例中，所述控制件可以是控制液体药物进入喷淋轴筒12内部的电控阀。可以理解，也可以针对每个喷嘴进行分别设置电控阀。使用本专利技术的所述喷淋装置10进行蚀刻作业时，控制系统控制喷淋轴筒12旋转，根据所述基板21需要喷淋药品的粘稠度调节所述喷淋轴筒12方向，以粘稠度低的药液为例，将所述第二喷嘴17旋转至朝向基板，即朝向下方，则所述第一喷嘴16便朝向相反的方向，同时所述遮挡壁14在所述喷淋轴筒12内部将第一喷嘴16封住，所述药液进入所述喷淋轴筒12内部使经过所述第二喷嘴17喷淋，并不会从第一喷嘴16流出。针对不同粘稠度的药液使用不同的喷嘴进行喷淋，产生水花大小相同，保证了蚀刻的均匀一致性，而且本专利技术的喷淋装置结构简单，易于操作。以上所揭露的仅为本专利技术较佳实施例而已，当然不能以此来限定本专利技术之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本专利技术权利要求所作的等同变化，仍属于专利技术所涵盖的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种TFT基板喷淋装置，其特征在于，所述喷射装置包括喷淋轴筒、及用于对所述基板喷淋的至少两种喷嘴；所述至少两种喷嘴设于所述喷淋轴筒外表面并与所述喷淋轴筒内部贯通，并且至少两种喷嘴位于所述喷淋轴筒外周面的不同侧；所述喷淋轴筒内设有沿着喷淋轴筒内壁轴向延伸并可绕喷淋轴筒轴心转动的遮挡壁，所述遮挡壁与喷淋轴筒内壁接触的面积大于至少两种喷嘴与喷淋轴筒连接处的面积；所述喷淋轴筒旋转使所述遮挡壁在所述喷淋轴筒内封闭所述至少两个种喷嘴中的一种，并使另一种喷嘴进行喷淋。

【技术特征摘要】
1.一种TFT基板喷淋装置，其特征在于，所述TFT基板喷淋装置包括喷淋轴筒、及用于对所述基板喷淋的至少两种喷嘴；所述至少两种喷嘴设于所述喷淋轴筒外表面并与所述喷淋轴筒内部贯通，并且至少两种喷嘴位于所述喷淋轴筒外周面的不同侧；所述喷淋轴筒内设有沿着喷淋轴筒内壁轴向延伸并可绕喷淋轴筒轴心转动的遮挡壁，所述遮挡壁与喷淋轴筒内壁接触的面积大于至少两种喷嘴与喷淋轴筒连接处的面积；所述喷淋轴筒旋转使所述遮挡壁在所述喷淋轴筒内封闭所述至少两种喷嘴中的一种，并使另一种喷嘴进行喷淋。2.如权利要求1所述的TFT基板喷淋装置，其特征在于，所述至少两种喷嘴包括第一喷嘴及第二喷嘴且第一喷嘴及第二喷嘴的数量均为多个，所述多个第一喷嘴及多个第二喷嘴均沿着所述喷淋轴筒的轴向呈直线排列设于所述喷淋轴筒外表面上，并且所述多个第一喷嘴所在直线与多个第二喷嘴所在直线在所述喷淋轴筒外表面不同侧。3.如权利要求2所述的TFT基板喷淋装置，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李嘉，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44