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三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台制造技术
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下载三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台的技术资料
文档序号:11003523
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本发明公开了一种三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台,包括处于平台中心的固定的支架,与所述支架连接的三块柔性体呈正三角形分布且处于同一水平面上,每块柔性体包含一段波纹型薄片,三块柔性体的一端通过螺钉与所述的支架相连,另一端通过...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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