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一种掩模与基底六自由度对准装置制造方法及图纸
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下载一种掩模与基底六自由度对准装置的技术资料
文档序号:11003429
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本发明提供一种掩模与基底六自由度对准装置,含有掩模、掩模支架、弹性簧片、压簧片、压簧预紧、Y手轮、拉簧预紧、基底、基底支架、X手轮、基座、压紧螺钉;掩模支架为圆盘形状,用于承载掩模;弹性簧片具有内环及三个凸起,内环通过螺钉与掩模支架连接,三...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
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