下载接合装置及半导体装置的制造方法的技术资料

文档序号:11002614

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本发明的倒装芯片接合装置(500)是在设置有第一贯通电极的第一层的半导体芯片(20)之上,将在与第一贯通电极对应的位置设置有第二贯通电极的第二层的半导体芯片(30)加以层叠接合,其具备:双视野摄影机(16),拍摄半导体芯片(20)、(30)...
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