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本实用新型提供一种清理工具，所述清理工具包括杆体、可旋转的擦拭部件、连接部和驱动装置。所述清理工具设有驱动装置和可旋转的擦拭部件，通过驱动装置驱动所述擦拭部件进行旋转，可以实现对离子注入机内大面积区域和较小空间区域等不同区域进行清理。相较于...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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