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本发明提供一种硅片表面金属离子测试装置，包括提取装置、旋转工作台和控制装置，所述提取装置包括真空泵、真空管和提取枪，所述提取枪包括通过管路连接的扫描液存放腔和工作室，所述扫描液存放腔位于所述工作室上方，所述真空泵通过真空管与所述扫描液存放腔...
该专利属于天津中环领先材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中环领先材料技术有限公司授权不得商用。

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