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蚀刻工件的方法、蚀刻工件的装置及非瞬态计算机可读介质制造方法及图纸
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下载蚀刻工件的方法、蚀刻工件的装置及非瞬态计算机可读介质的技术资料
文档序号:10994214
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公开了用于蚀刻工件的方法、被配置为蚀刻工件的装置以及非瞬态计算机可读介质。可以提供一种用于蚀刻工件的方法,所述方法可以包括:确定用于蚀刻剂分配器的多个位置的多个基准蚀刻曲线,每个基准蚀刻曲线与所述蚀刻剂分配器的所述多个位置中的各个位置对应;...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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