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本实用新型涉及一种等离子体加热流化床制备三氯氢硅的装置，包括：流化床反应器（10），流化床反应器（10）内设置有热电阻丝（8），流化床反应器（10）器壁设置有硅粉加料口（11）、温度测控口（12）和压力计（9），流化床反应器（10）底部设置...
该专利属于江苏双良新能源装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏双良新能源装备有限公司授权不得商用。

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