下载一种COA基板及其制作方法的技术资料

文档序号:10979391

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本发明提供一种COA基板及其制作方法,所述方法包括:提供一衬底基板;在所述衬底基板上形成第一金属层,对所述第一金属层进行图形化处理形成栅极;在所述栅极及未被所述栅极覆盖的衬底基板上形成栅绝缘层;在所述栅绝缘层上形成色阻层;在所述色阻层上形成...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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