温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种制备新型GaN基激光器的方法,采用金属有机化合物气相外延技术解决GaN基激光器制备中的一系列关键技术与科学问题,技术方案为:一种制备新型GaN基激光器的方法,采用金属有机化合物气相外延技术,以及三甲基镓、三甲基铟、三甲基铝作为...该专利属于北京大学东莞光电研究院;东莞市中镓半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学东莞光电研究院;东莞市中镓半导体科技有限公司授权不得商用。