下载一种高α相氮化硅的制备方法的技术资料

文档序号:10953376

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本发明公开一种高α相氮化硅的制备方法,包括以下步骤:首先将质量比为5~45:100的纳米级硅粉和微米级硅粉充分混合,得到硅粉原料;氮气气氛下,将所述的硅粉原料加热到800~1200℃,保温2~20h,再升温至1200~1350℃,待氮化反应...
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