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本发明公开了一种新型微型惯性测量单元组合，包括基座，所述基座上焊接有两个梳齿式结构的加速度计(敏感轴在芯片平面内)、一个单支点扭摆式结构的加速度计(敏感轴垂直于芯片平面)、两个单支点角振动结构的陀螺(敏感轴在芯片平面内)和一个线振动结构的陀...
该专利属于苏州文智芯微系统技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州文智芯微系统技术有限公司授权不得商用。

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