下载一种气体喷淋装置的技术资料

文档序号:10947128

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本实用新型公开了一种气体喷淋装置,包括上下对应设置的喷淋系统和抽风系统,所述喷淋系统包括进气接口、喷淋头、设于喷淋头外侧的侧抽风通道以及连通侧抽风通道的抽风接口一,所述抽风系统包括与所述喷淋系统侧抽风通道连通的抽风槽、连通抽风槽的抽风接口二...
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