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一种检测磷化氢气体纯度的方法，先将采气袋和双排管路系统抽成真空，缓慢将磷化氢气体经由双排管输入采气袋中；然后，以氮气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氢气的峰面积值SH2，以及氢气为载气，采用热导检测器测定待检测磷化氢气体中氮气的...
该专利属于常州宏福高端膦技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州宏福高端膦技术研发中心有限公司授权不得商用。

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