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基于结构光方法的微观光滑自由曲面样品测量装置和方法属于光学显微成像领域；该装置包括激光光源、准直镜、正弦光栅、透镜、第一管镜、二向色镜、物镜、样品、滤光片、第二管镜、制冷CCD和载物台；利用激光器经过准直镜出射的平行光，再经过一维正弦光栅得...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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