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基于荧光共焦显微技术的光滑大曲率样品测量装置与方法光学精密测量技术领域，具体涉及一种利用共焦显微技术测量光滑大曲率样品表面形貌的装置和方法；该装置包括照明模块、探测模块和镀膜样品；该方法首先使待测样品成为镀膜样品，然后利用照明模块激发样品表...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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