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制造液晶显示器用阵列基板的方法技术
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文档序号:10905344
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本发明涉及一种制造液晶显示器用阵列基板的方法,包括以下步骤:a)在基板上形成栅电极;b)在包括栅电极的基板上形成栅绝缘层;c)在栅绝缘层上形成半导体层(n+a-Si:H和a-Si:H);d)在半导体层上形成源电极/漏电极;以及e)形成与漏电...
该专利属于东友精细化工有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东友精细化工有限公司授权不得商用。
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