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一种区熔炉反射环制造技术
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文档序号:10900441
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本发明提供一种区熔炉反射环,包括反射环固定件,固定件包括圆环固定架和和夹持件,固定架位于夹持件的一端,固定架内固定一封闭圆环,封闭圆环的上半部开有若干U型槽。该反射环的设计,能够避免硅单晶在区熔保持过程中产生开裂的情况。...
该专利属于天津市环欧半导体材料技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津市环欧半导体材料技术有限公司授权不得商用。
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