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涡旋真空泵制造技术
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文档序号:10896360
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涡旋泵具有在泵的定盘和动盘涡旋其中一个的涡旋叶片的轴向端部与定盘和动盘涡旋的另外一个的盘之间的尖端密封。涡旋泵可具有压载气体供给系统和使用压载气体供给系统的运行以评估尖端密封的状况。可替代地,涡旋密封在沿着泵的压缩机构间隔开的两个位置可具有...
该专利属于安捷伦科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安捷伦科技有限公司授权不得商用。
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