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本发明涉及数片设备，具体为一种硅片数片装置及数片方法，其装置结构简单，方便地完成硅片的数片操作，提高效率，其包括托板，所述托板包括玻璃板，所述玻璃板上部一端设置带有斜坡的靠板，所述玻璃板下部两侧对称设置配合的光源和光电探测器，所述光源照射到...
该专利属于无锡名谷科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡名谷科技有限公司授权不得商用。

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