下载可变压力四点涂覆探针装置及方法的技术资料

文档序号:10862072

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本发明涉及一种可变压力探针装置,所述可变压力探针装置包含:壳体,其带有具有第一纵向轴的通道;探头,其至少部分地安置于所述通道中且包含经配置以测量导电层的性质的多个探针;及流体压力系统,其经配置以将经加压流体供应到所述通道以控制所述探头在所述...
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