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转移电子探针组件到空间变换器。根据第一方法实施例，多个探针通过微机电系统(MEMS)过程在牺牲基质上的牺牲材料中形成。多个探针的尖端邻接牺牲基质形成，并且多个探针的剩余结构从牺牲基质延伸出去。包括多个探针的牺牲材料附接到空间变换器。空间变换...
该专利属于爱德万测试公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱德万测试公司授权不得商用。

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