【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利摘要】转移电子探针组件到空间变换器。根据第一方法实施例，多个探针通过微机电系统(MEMS)过程在牺牲基质上的牺牲材料中形成。多个探针的尖端邻接牺牲基质形成，并且多个探针的剩余结构从牺牲基质延伸出去。包括多个探针的牺牲材料附接到空间变换器。空间变换器包括在一个表面上用于在探针间距处接触多个探针的多个触点，以及对应的在另一表面上在第二间距(大于探针间距)处的第二多个触点，其中每个第二多个触点电耦合到对应的多个探针之一。移除牺牲基质，并移除牺牲材料，完整地留下多个探针。【专利说明】转移电子探针组件到空间变换器相关申请本申请要求Namburi和Cros于2012年3月7日提交的题为“Methods to TransferLogic Probe Assemblies on to Space Transformers”(转移逻辑探针组件到空间变换器上的方法)的美国临时专利申请61/607889的优先权，其全部内容被通过引用结合于此。Tang 等人的题为 “Process for Forming Microstructures”(形成微结构的过程)的美国专利7271022，...
【技术保护点】
一种方法，包括：通过微机电系统MEMS过程，在牺牲基质上的牺牲材料中形成多个探针，其中所述多个探针的尖端邻近所述牺牲基质形成，并且所述多个探针的剩余结构从所述牺牲基质延伸出去；附接包括所述多个探针的所述牺牲材料到空间变换器，其中所述空间变换器在一个表面上包括以探针间距形成的用于接触所述多个探针的多个触点，以及对应的在另一表面上包括以第二间距形成的第二多个触点，其中所述第二间距大于所述探针间距并且每个所述第二多个触点电耦合到对应的所述多个探针之一；移除所述牺牲基质；以及移除所述牺牲材料，但完整地留下所述多个探针。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：拉克什米肯斯·南普利，弗洛伦特·克罗斯，
申请(专利权)人：爱德万测试公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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