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本实用新型提供一种检测精度较高的抛光盘表面形状误差的检测装置。平面抛光盘表面形状误差的检测装置，设置有支撑座，在所述支撑座上端设置有横梁，在所述横梁上设置有导轨和电机，所述电机包括定子和动子，移动块通过滑块设置在所述动子和导轨上，并能沿着所...
该专利属于成都精密光学工程研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过成都精密光学工程研究中心授权不得商用。

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