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描述了用于在紫外(UV)、超紫外(EUV)、和/或软X射线波长上工作的设备和系统中的纳米结构的光子学材料及相关联的组件。此类材料可用针对所选波长范围(诸如在特定UV、EUV、或软X射线波长或波长范围上)设计的纳米尺度特征来制造。此类材料可被...
该专利属于苏普瑞亚·杰斯瓦尔所有，仅供学习研究参考，未经过苏普瑞亚·杰斯瓦尔授权不得商用。

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