下载基准信号发生装置和基准信号发生系统的技术资料

文档序号:10828101

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基准点检测光接收单元通过第一到第五光接收元件从基准点检测图案接收光。该第一到第五光接收元件布置在第一方向上并分别地输出第一到第五信号。基准信号发生电路输出一基准信号,该基准信号在其中通过将第一与第二信号相加而得到的信号的电平与通过将第三与第...
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