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光束整形装置制造方法及图纸
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文档序号:10824032
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光束整形装置(10A)具有:第一相位调制部(12),其由相位调制型的SLM构成,表示用于调制入射光(P1)的相位的第一相位图案;第二相位调制部(14),其由相位调制型的SLM构成,与第一相位调制部(12)光学结合,用于进一步调制被第一相位调...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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