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一种复合基板微盲孔孔壁的凹蚀方法，属于电子工艺领域，包括如下步骤：（1）将高浓度的N2气体注入反应装置，使得N2的自由基与孔壁附有的气体分子反应，使孔壁清洁，同时对于印制板进行预热，使得高分子材料处于一定的活化状态；（2）以O2和CF4为原...
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