温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的目的在于提供一种在衬底上电化学沉积金属的装置。所述装置具有：反应腔体、衬底、衬底固持部件、阳极单元、外电源和驱动装置。其特征在于：所述在衬底上电化学沉积金属的装置还具有固持承载单元，用以垂直承载所述衬底固持部件；所述阳极单元为至少一...
该专利属于马悦;何川;施广涛;黄允文;顾岩所有，仅供学习研究参考，未经过马悦;何川;施广涛;黄允文;顾岩授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。