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一种晶体硅太阳能电池的扩散制结方法技术
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文档序号:10814753
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本发明公开了一种晶体硅太阳能电池的扩散制结方法,包括如下步骤:(1)将待处理的硅片放入扩散炉内进行氧化处理;(2)调温至820~830℃,通源进行扩散,携源氮气采用脉冲式供气;(3)降温至780~800℃,停止脉冲供气,采用均一流量通入氮气...
该专利属于白茹所有,仅供学习研究参考,未经过白茹授权不得商用。
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