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本发明公开了属于微机械开关器件领域的一种双段式静电驱动微机械开关。所述静电驱动微机械开关由两组驱动梳齿和两组弹性结构组成，第一组驱动梳齿通过第一组弹性结构固定到锚区上，第二组驱动梳齿通过第二组弹性结构与第一组驱动梳齿相连；第一组驱动梳齿的动...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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