下载一种半导体芯片耐腐蚀性研磨剂的技术资料

文档序号:10807887

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本发明公开了一种半导体芯片耐腐蚀性研磨剂,其特征在于,包括下列重量份数的物质:表面活性剂3-9份,有机添加剂4-7份,调节剂1-3份,水性介质50-55份,山梨醇11-18份,聚丙烯7-10份,聚乙烯9-16份,甘油1-8份,氯化钙3-7份...
该专利属于宁贻伟所有,仅供学习研究参考,未经过宁贻伟授权不得商用。

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