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具有硅应力隔离构件的集成SOI压力传感器制造技术
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下载具有硅应力隔离构件的集成SOI压力传感器的技术资料
文档序号:10805280
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公开了具有硅应力隔离构件的集成SOI压力传感器。在一个实施例中提供了压力传感器。该压力传感器包括壳体,壳体具有输入端口,输入端口配置为允许介质进入壳体。将支撑件安装在壳体内,支撑件限定了延伸穿过其中的第一孔。将应力隔离构件安装在支撑件的第一...
该专利属于霍尼韦尔国际公司所有,仅供学习研究参考,未经过霍尼韦尔国际公司授权不得商用。
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