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在此提供处理基板的设备。在一些实施方式中，在基板处理中所使用的灯头包括具有轮廓表面的单块构件；位于轮廓表面中的多个反射腔，其中每一个反射腔都具有作为反射镜或接收灯的可替换反射镜的形状；和多个灯通道，其中每一个灯通道都从多个反射腔之一延伸至单...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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