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多层衍射光学元件偏心误差分析方法属于光学设计技术领域。在现有技术中还没有一种科学、可靠的偏心误差对衍射效率的影响的分析方法。本发明之多层衍射光学元件偏心误差分析方法包括以下四个步骤：1、根据多层衍射光学元件位相延迟表达式和衍射效率公式，求出...
该专利属于长春理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过长春理工大学授权不得商用。

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