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公开了一种隔离结构及其形成方法。隔离结构包括：第一隔离结构，具有形成在衬底中的沟槽内的绝缘层；以及第二隔离结构，形成在第一隔离结构上。第二隔离结构包括：形成在衬底中的第一杂质区，第一杂质区具有第一杂质掺杂浓度；以及第二杂质区，形成为围绕第一...
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