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本发明提供了一种用于多孔低介电常数材料的紫外光固化工艺方法，包括：将晶圆放置在紫外光固化反应腔的晶圆加热台上，晶圆上方布置有透明石英挡板，而且透明石英挡板上方布置有紫外灯；其中，透明石英挡板的上端密封，透明石英挡板的下端布置有多个孔，透明石...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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