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本实用新型公开了一种石墨舟，用于小管径等离子化学气相沉积，所述石墨舟具有多个石墨舟舟片，所述石墨舟的两侧最外层为两石墨舟舟片贴合在一起形成的双层结构。本实用新型的石墨舟，可使热场均匀，以减轻热场分布的影响，使炉管内沉积速率相近。...
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