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本实用新型提供了一种研磨液供应系统和研磨装置，所述研磨液供应系统包括：包括：研磨液臂；研磨液箱，所述研磨液箱与所述研磨液臂连接；研磨液管，所述研磨液管设置于所述研磨液臂内，所述研磨液管的开口位于所述研磨液箱内；马达，所述马达驱动所述研磨液臂...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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