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光波导元件制造技术
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文档序号:10755053
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本发明的目的在于提供一种光波导元件,其有效地使蓄积在基板内的电荷扩散,抑制了直流漂移和温度漂移。其具有:基板,具有电光效应;光波导,形成于该基板上;缓冲层(BF层),形成于该基板上;以及调制电极(信号电极、接地电极),形成于该缓冲层上,对在...
该专利属于住友大阪水泥股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过住友大阪水泥股份有限公司授权不得商用。
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