下载氧化钛薄膜的制备方法及氧化钛薄膜的技术资料

文档序号:10744138

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本发明提供了一种氧化钛薄膜的制备方法及氧化钛薄膜,该氧化钛薄膜的制备方法包括以下步骤:1)氧化钛前驱物的制备;2)涂膜及后处理。本发明提供了一种制备工艺简单且能够规模化生产的氧化钛薄膜的制备方法及氧化钛薄膜。...
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