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基板处理装置、处理装置以及元件制造方法制造方法及图纸
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文档序号:10742391
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基板处理装置具备:旋转圆筒部件(DR),具有距规定的中心线(AX2)以固定半径弯曲的圆筒状的支承面,且沿基板的长度方向传送基板(P);处理机构,在基板的一部分的特定位置(PA、EL2)处对基板实施规定的处理;刻度部件(SD),具有刻度部(G...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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