下载沟槽型IGBT的制备方法的技术资料

文档序号:10738311

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本发明公开了一种沟槽型IJBT的制备方法,通过硅衬底中间区域增加掺杂浓度较重的深P型区和N型区,可诱导电子流向N型区集中,并穿过P型区,通过P型体区最终到达集电极,由于电中性原则,电子的集中增加了电子在N型区外围的浓度,这提高了空穴在N型区...
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