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一种在单晶ZnO衬底上外延生长大面积单晶ZnS薄膜的方法技术
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下载一种在单晶ZnO衬底上外延生长大面积单晶ZnS薄膜的方法的技术资料
文档序号:10723007
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本发明公开了一种在单晶ZnO衬底上外延生长大面积单晶ZnS薄膜的方法,该方法包括以下步骤:(1)将硫化锌粉末、单晶ZnO衬底放入双温区管式炉中;(2)打开机械泵,对管式炉抽真空,充入保护气体;(3)设定升温程序,反应后自然降温;(4)取出样...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。
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