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本发明公开了一种提高微粒检测能力的方法，通过在被检测硅片上沉积一层氮化物薄膜，将附着在硅片表面上的小于最小缺陷检测尺寸的微粒尺寸放大至少达到最小缺陷检测尺寸，并利用氮化物的致密特征，使疏松微粒具有致密、光滑的被检测表面，改善了疏松微粒的表面...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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