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半导体器件(1)包括衬底(10)、栅极绝缘膜(20)、以及栅电极(30)。衬底(10)包括化合物半导体，并且具有凹部(17)，当在厚度方向中的横截面看时，该凹部(17)在一个主表面(10A)处开口并且具有侧壁表面(17A)。栅极绝缘膜被设置...
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