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本发明提供了一种自支撑单级衍射光栅的制作方法。该方法是采用聚焦离子束直写技术在不透光金属自支撑吸收体薄膜上加工出单级衍射透射式光栅。通过设置图形放大倍数、加工电压、加工电流和加工深度来控制单级衍射光栅特征结构的几何精度；利用图形的高精度拼接...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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