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本发明提供一种能够适当地调整掩模图案的位置的诸如掩模调整单元等技术。这种掩模调整单元设置有基体、可动部件和调整机构。可动部件支撑具有外缘部的掩模主体的外缘部侧并可移动地设置在基体上。调整机构将从掩模主体的外缘部拉向掩模主体的外侧的张力和从外...
该专利属于索尼公司所有，仅供学习研究参考，未经过索尼公司授权不得商用。

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