下载一种掩膜板和曝光方法的技术资料

文档序号:10681296

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本发明实施例公开了一种掩膜板和曝光方法,涉及显示技术领域,使用该掩膜板能够形成多层结构。该掩膜板包括至少两个叠加的子掩膜板,每个所述子掩膜板包括遮光图案和透光图案,所有所述遮光图案在所述掩膜板上的垂直投影无交叠。...
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