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磁传感装置及其感应方法、制备工艺制造方法及图纸
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文档序号:10671330
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本发明揭示了一种磁传感装置及其感应方法、制备工艺,所述磁传感装置包括:基底、第一电极层、沟槽、磁性材料层、连接通孔、加压模块、磁场测量模块、SET/RESET模块。第一电极层设置于所述基底上,第二电极层,设置于所述磁性材料层上;磁性材料层沉...
该专利属于上海矽睿科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海矽睿科技有限公司授权不得商用。
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