下载磁传感装置及其感应方法、制备工艺的技术资料

文档序号:10671330

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本发明揭示了一种磁传感装置及其感应方法、制备工艺,所述磁传感装置包括:基底、第一电极层、沟槽、磁性材料层、连接通孔、加压模块、磁场测量模块、SET/RESET模块。第一电极层设置于所述基底上,第二电极层,设置于所述磁性材料层上;磁性材料层沉...
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